“我们的仪器正在助力打造当地计量工作国家层面的溯源基准。”深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张鹏说，他们的团队两个月前刚从乌干达回国，带回了一则令人兴奋的消息。

　　此外，中图仪器的设备还出口到了德国、意大利等30多个国家，成功打响了几何量测量领域的“深圳智造”。

　　为“工业尺子”做“体检尺”

　　几何量是描述物体的尺寸、形状和位置等几何特征的量，是现代工业品质控制和科学研究的基本对象。几何量测量仪器堪称“工业的尺子”，其精密程度决定了现代制造业的高度和深度。

　　中图仪器创始人马俊杰曾就职于深圳市计量质量检测研究院，于2005年创立了中图仪器。最初，马俊杰从研发高精度、高智能的指示表全自动检定仪入手，专门测定在精密机械、零件生产加工中常用的千分表的精度。如果说千分表是检查工件形状和位置误差的“工业尺子”，那么指示表检定仪就相当于为“工业尺子”做体检的另一把“尺子”。

　　从“尺子”起步，中图仪器在精密测量这一赛道迅速崛起，逐步构建起从纳米级到百米级的完整精密测量解决方案，成长为我国几何量测量领域的国家专精特新“小巨人”企业。

　　“火眼金睛”个个身手不凡

　　在中图仪器的“武器库”里，各类精密测量仪器好比工业制造的“火眼金睛”，个个身手不凡，多个自研产品填补了国内空白，甚至达到国际先进水平，已在计量、3C电子、半导体、航空航天、高校科研、医疗器械、装备制造等领域大展拳脚。

　　工作人员将一片有图晶圆放在一台光学3D表面轮廓仪的样品托上，不到一分钟，样品表面涂覆薄膜层的表面轮廓信息便以三维图像清晰呈现出来。经测量，尽管晶圆表面高低落差仅有相当于头发丝直径五十分之一的1.3微米，但肉眼看上去光滑无比的晶圆表面，在镜头下竟然像一片错落有致的丘陵。这一纤毫区别，有助于半导体加工中测量晶圆的粗糙度，测量数据与设计值对比后，可判断其是否符合加工制程的要求。

　　在CEM3000系列台式扫描电镜的观察下，一颗断裂铁钉的截面展示了一幅沟壑纵横的神奇画面。“从图像中可以发现这个结构中有一条颜色较深的裂缝，根据裂纹走向和纵深，证明它这里就是裂纹扩张的断裂源点，从而为失效分析提供依据。”张鹏介绍说，这台扫描电镜采用加速电子束作为观测激发源，突破传统光学的分辨率极限，可以实现2纳米的极高分辨率，缩小了传统钨灯丝电镜与场发射电镜在分辨率上的差距。

　　高研发强度持续涌现创新成果

　　据统计，近年来，中图仪器年均研发投入占营收比例维持在20%以上，在精密轮廓扫描、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等技术领域形成了独特的研发设计、制造优势。目前已成功开发了15种重点仪器，其中约10种实现了国产替代，在与国外友商同台竞技的同时大幅降低了客户的采购成本。

　　“精密测量的发展趋势是不断延伸极小尺寸（微纳米级）和极大尺寸（百米级）两个极端的测量精度和范围，从纳米到百米，精密测量仪器都能找到用武之地。”张鹏表示，目前，中图仪器已实现全尺寸布局。在微小尺寸段，白光干涉仪、共聚焦显微镜能够完成微纳米级测量；在中间尺寸段，三坐标、影像仪、轮廓仪能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测；在大尺寸段，中图仪器历时6年开发了具有自主知识产权、达到国际先进水平的激光跟踪仪。其中，被誉为“工业测量皇冠上的明珠”的激光跟踪仪是一种空间大尺寸三维坐标精密测量的几何量仪器，它不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量，还能对运动的目标进行跟踪测量。

　　“如今，我们约有20000台（套）仪器在客户端运行，不仅占据了国内市场的部分份额，还卖到了全球30多个国家。”张鹏介绍说。