人工智能（Ai）芯片关健之一材料：12英寸高纯钴靶材。12英寸高纯钴靶材是超大规
$中芯国际(SH688981)$ 人工智能（Ai）芯片关健之一材料：12英寸高纯钴靶材。12英寸高纯钴靶材是超大规模集成电路逻辑芯片和DRAM存储芯片制备用关键材料之一。其主要用于130nm及以下集成电路技术接触层，可降低器件阻抗与功耗，提升驱动电流、频率响应和操作速度。同时，在1xnm以下先进制程中，高纯钴替换钨接触孔和铜互连线，可使芯片导电性能提高3.7倍。
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