在研项目：省重大产业创新计划项目的技术水平要达到“2021-2024年总投入4.
在研项目：省重大产业创新计划项目的技术水平要达到“2021-2024 年
总投入 4.6 亿，
通过自主研发
的八大核心技
术利用直写光
刻技术原理，
攻克高端光刻
领域的技术自
主可控和国产
替代。在现有
核心技术的基
础上提升其技
术广度和高
度，从而拓展
研发出不同领
域的系列产
品。”这里所称的高端光刻领域是指晶圆制造领域吗？
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