刚刷到的信息,公司此前申请了一项名为“溶液供给装置及半导体设备”的专利,根据专利
刚刷到的信息,公司此前申请了一项名为“溶液供给装置及半导体设备”的专利,根据专利摘要显示,这项发明公开了溶液供给装置及半导体设备,该溶液供给装置用于为处理装置提供混合溶液。从作用和意义来看,这项发明实现了提升混液中各化学组分的体积比例精度的效果。可见,盛美一直在推进研发创新,不断寻求突破,2025年值得继续期待
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