截至11月11日收盘，光刻机概念上涨6.31%，位居概念板块涨幅第5，板块内，31股上涨，腾景科技20%涨停，凯美特气、东方嘉盛、电科数字等涨停，旭光电子、芯碁微装、蓝英装备等涨幅居前，分别上涨9.46%、9.22%、7.57%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入6.25亿元，其中，20股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是张江高科，今日主力资金净流入5.04亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、大族激光、电科数字等，主力资金分别净流入3.54亿元、1.66亿元、1.18亿元。

　　资金流入比率方面，晶方科技、凯美特气、电科数字等流入比率居前，主力资金净流入率分别为27.06%、19.54%、9.59%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜