周一连板走起【上海微电子公开“安全快门及光刻机”发明专利】据国家知识产权局公告,
$张江高科(SH600895)$ 周一连板走起
【上海微电子公开“安全快门及光刻机”发明专利】据国家知识产权局公告,上海微电子9月20日公开“安全快门及光刻机”发明专利,申请公布号为CN118672064A。本发明提供一种安全快门及光刻机。其中,所述安全快门包括:盖板、叶片、传动轴和驱动组件;盖板具有一通光孔,驱动组件设置于盖板上,且位于通光孔的侧边;传动轴分别与驱动组件和叶片相接,用于在驱动组件运动时带动叶片转动,以使叶片关闭或打开通光孔。
其中,所述传动轴具有联轴部和连接部;所述联轴部与所述连接部相接,所述连接部沿传动轴的径向延伸,且与叶片相接,以支撑叶片。可见,本发明利用传动轴上的联轴部来吸收旋转体间发生的偏心、偏角、振动振幅等轴心偏差,以提升安全快门的运动可靠性,防止卡死或运动不流畅。以及,利用传动轴上的连接部增加对叶片的支撑力,从而减小叶片的偏载力矩,提高运动流畅性。(国家知识产权局)
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