埃米仪器致力于国内精密3D量测设备的国产化,攻克核心技术。资料显示,目前公司持续
埃米仪器致力于国内精密3D量测设备的国产化,攻克核心技术。资料显示,目前公司持续推出多款量测设备,成功研发的国内首台在线工业级原子力显微镜已在国内领先的12英寸芯片制造企业交付,对推动国内先进工艺的发展,提高芯片制造良率,缩短制程研发周期具有重要意义.
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