万业企业：公司产品覆盖集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程
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子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理、真空泵、热电偶等支撑制程设备！集成电路半导体设备国产替代
$中微公司(SH688012)$$北方华创(SZ002371)$万业企业
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