海立股份的冷却配件设备可能会跟进扩大。
海立股份通过与上海微电子装备集团进行战略合作，专注于封装光刻机冷却系统的研发和生产。这一合作不仅体现了海立股份在制冷技术和汽车热管理系统领域的专业能力，还展示了其在光刻机冷却系统领域的积极布局。随着光刻机国产化的顺利进展，海立股份有望利用这一技术优势，扩大其在光刻机冷却系统领域的影响力和市场份额。
海立股份的这一战略布局不仅基于其自身的技术实力和市场定位，还受到了全球半导体市场增长趋势的影响。随着技术的进步和光刻工艺的发展，对光刻机冷却系统的要求也越来越高，这为海立股份提供了市场机会。尽管当前海立股份在光刻机冷却系统业务上的规模较小，但随着国内对半导体产业的重视和技术更新换代的速度加快，海立股份有望通过战略合作和技术引进，加快产品的研发和市场推广，尤其是在中小型光刻机市场寻找生存与发展的空间。