公告日期：2024-12-21

中国国际金融股份有限公司

关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司

部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的
核查意见

中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）2021 年度向特定对象发行 A 股股票项目的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规定，对芯源微募投项目延期的事项进行了核查，核查情况如下：

一、募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8,045,699股，每股面值 1 元，发行价格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币999,999,928.71 元，扣除不含税的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资
金净额为人民币 990,084,835.04 元。以上募集资金已于 2022 年 6 月 8 日到位，
募集资金到位情况已由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008 号《验资报告》。

公司依照规定对募集资金采取了专户存储管理，开立了募集资金专户，并与保荐机构、募集资金专户监管银行签署了募集资金专户存储相关的监管协议。具体情况详见公司于2022年6月17日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于签署募集资金专户存储三方监管协议
的公告》，及于 2022 年 7 月 28 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）
的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于签署募集资金专户存储四方监管协议的公告》。

二、募集资金投资项目情况

根据《沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2021 年度向特定对象发行 A 股股
票募集说明书》披露，公司 2021 年度向特定对象发行股票募集资金投资项目如下：

单位：人民币万元
序号 项目名称 投资总额 募集资金投资额

1 上海临港研发及产业化项目 64,000.00 47,000.00

2 高端晶圆处理设备产业化项目（二期） 28,939.27 23,000.00

3 补充流动资金 30,000.00 30,000.00

合计 122,939.27 100,000.00

注：截至 2024 年 6 月 30 日，公司募集资金存放和实际使用情况详见公司于 2024 年 8 月 30
日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上披露的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2024 年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》（公告编号：2024-059）。

三、本项目募集资金使用及节余情况

（一）本项目募集资金具体使用及节余情况

公司本次结项的募投项目为“上海临港研发及产业化项目”。截至本核查意见出具日，上述募投项目已按照计划实施完毕，并达到预定可使用状态，满足结
项条件。截至 2024 年 12 月 19 日，该项目募集资金的使用及节余情况如下：
单位：人民币万元
序 募集资金承诺 项目实际 预计节余募集资金金
号 项目名称 投资金额 投资金额 项目节余资金 额（利息及理财收益扣
除手续费后净额）
1 上海临港研发及产 47,000.0……
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