光刻
光刻机的制造集合了精密光学、精密仪器、高分子物理与化学、机械自动化软件、高精度环境控制和流体力学等多种世界先进技术，光刻机作为半导体设备三大件之一，是人类文明智慧的结晶，被誉为“现代光学工业之花”。而国机通用具备光刻机研发所必须的核心部件高精度环境控制和流体力学，其研发实力的强突破性对我国核心产业发展可谓重中之重。
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